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射频电源的工作原理：
射频收发核心电路射频即Radio Frequency，通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。射频简称RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。

射频电源产生等离子的原理，是在一个密闭的真空压力容器内，利用真空泵获得一定的真空度，射频被馈入到真空室的两个极板之间。在两个极板之间产生一个变电场。气体在电场上被电离，产生相对应的离子。带电离子被加速不断的碰撞气体分子产生级联效应。就这样产生了辉光，从而产生了等离子体。

射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压，频率在射频范围（约3KHz～300GHz）内、具有一定功率的电源。
射频电源已广泛应用于半导体工艺设备；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；射频感应加热；；常压等离子体消毒清洗等。

射频电源区别于其他直流电源，偏压电源，中频电源的优势：当交流电源的频率低于50kHz时，气体放电的情况与直流时候的相比没有根本的改变。当频率超过50kHz以后，放电过程开始出现变化：
1、在两极之间不断振荡运动的电子可从高频电场中获得足够的能量并使得气体分子电离，而由电离过程产生的二次电子对于维持放电的重要性相对下降；
2、高频电场可以经由其它阻抗耦合进入沉淀室，而不必再要求电极一定要是导体。也可以认为，由于所用电源是射频的，射频电流可以通过绝缘体两面间的电容而流动。
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